羅茨真空泵工作原理
發布時間：2015年11月06日 01:36 閱讀：7283
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澤德
羅茨真空泵工作原理
羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演化而來的。依據羅茨真空泵工作規模的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。個別來說，羅茨泵具備以下特征：
在較寬的壓強規模內有較大的抽速； 起動快，能立刻工作； 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； 轉子不用光滑，泵腔內無油； 振動小，轉子動均衡條件較好，沒有排氣閥； 驅動功率小，機械摩擦喪失小； 構造緊湊，占空中積小； 運轉保護用度低。
羅茨泵的構造如圖所示。在泵腔內，有二個“8”字形的轉子互相垂直地裝置在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶舉措彼此反向的同步旋轉靜止。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，維持有肯定的間隙，能夠完成高轉速運行。因為羅茨泵是一種無內收縮的真空泵，通常收縮比很低，故高、中真空泵須要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵自身構造和制作精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯運用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機類似。因為轉子的一直旋轉，被抽氣體從進氣口吸進到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。因為吸氣后v0空間是全關閉狀況，所以，在泵腔內氣體沒有收縮和收縮。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，因為排氣側氣體壓強較高，則有一局部氣體返沖到空間v0中往，賭氣體壓強突然增高。當轉子繼承轉動時，氣體排出泵外。
如圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣歷程。在0°地位時（圖中a），下轉子從泵出口封進v0體積的氣體。當轉到45°地位時（圖中b），該腔與排氣口相通。因為排氣側壓強較高，引起一局部氣體返沖過去。當轉到90°地位時（圖中c），下轉子封進的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉子也從泵出口封進v0體積的氣體。當轉子繼承轉到135°時（圖中d），上轉子封進的氣體與排氣口相通，反復上述歷程。180°（圖e）地位和0°地位是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個v0體積的氣體。
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