往復式真空泵又稱活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。其極限壓力一般在1330～2660Pa，抽速范圍從50l/s到200L/s。適用于石油、化工、醫藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮、真空結晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業等方面的抽除氣體。

　　往復式真空泵的主要部件是氣缸及在其中作往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構(包括十字頭)來完成的。除上述主要部件外，還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

　　在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動)，使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥5不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。當活塞達到最右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。