擴散泵的結構組成及結構原理
發布時間：2016年04月21日 09:26 閱讀：6933
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澤德
擴散泵主要由泵體、蒸發器、多級噴嘴、導流管等構成．下面介紹它們的結構原理。
1.噴嘴
一個噴嘴所能獲得的壓縮比很有限，故實際的擴散泵都用3～4個噴嘴相串聯，以獲得較高的壓縮比，這樣的泵稱為三(四)級泵。在進氣口處的稱第一級，以下按順序稱第二級、第三級、第四級。從理論上講，多級泵的壓縮比是各個噴嘴壓縮比的乘積；而實際上當壓縮比大到一定值后，泵的極限壓強將取決于工作液的飽和蒸氣壓，很難再降低。在設計泵時，噴嘴直徑一般一級比一級大，呈塔狀。氣體經過壓縮后，密度增加，故下一級噴嘴要大一些，以減小氣體密度，防止密度過高的氣體穿過蒸氣射流反擴散到泵人口側，影響泵的真空度。
2.泵體
一般擴散泵體為直筒形，對于大抽速泵也有用錐形或凸腔形泵體的。泵壁可采用銅管或水套進行冷卻，以使油蒸氣凝結。冷卻部位僅限于蒸氣射流噴射到的區域，這樣使得冷凝下來的油滴在回到蒸發器前有一定的溫升，將溶解在其中的氣體釋放出來，減少油蒸氣中的含氣量，提高泵的真空度。
3.分餾裝置
擴散泵油在工作過程中會逐漸分解為蒸氣壓高的輕餾分和蒸氣壓低的重餾分，輕餾分的高蒸氣壓最后決定了泵的極限壓強。鑒于對極限壓強起決定性影響的是第一級噴嘴處的油蒸氣壓，故采用分餾原理，將重餾分用于第一級噴嘴，就能取得降低極限壓強的效果。分餾裝置的作用是將泵油中的不同餾分進行分離。水冷泵壁凝結的油滴流回蒸發器，在分餾裝置中被加熱，輕餾分先被加熱成蒸氣，供給外圍的末級噴嘴導流管，重餾分流到中心時才被加熱成蒸氣供給高真空噴嘴，從而實現輕、重餾分的分離，這樣可使油蒸氣的返流量大幅度減小，極限真空可提高一個數量級。
4.加熱器
加熱器由電爐絲及爐體組成，其作用是加熱泵油使其成為蒸氣，以及補償泵中各部分的熱損失。
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