在真空泵中，真空泵油不僅作為獲得真空的介質，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。
根據組成不同，真空泵油主要有礦物油型和合成型兩大類。其中礦物油型真空泵油又包括有添加劑、無添加劑及液體石蠟三類。合成型真空泵油主要有合成烴、酯類油、含氟化合物等。礦物型真空泵油的基礎油，主要是由石蠟基潤滑油及少量環烷基潤滑油餾分經減壓蒸餾切割、分子蒸餾等過程而得到的。加氫基礎油由于脫除了大量的雜質，將多環芳烴、膠質、瀝青質等非理想組分轉化為理想組分，大幅度改善了基礎油的黏溫性能。與溶劑精制油相比，加氫基礎油具有高黏度指數、低凝點，且顏色得到改善，穩定性增強，抗乳化性和氧化安定性也有所改善。加氫油制得的真空泵油沸點高，相對分子質量較大，組成合理，有利于獲得高真空度且由于該油餾分窄，精制深度高，抽氣速率也有所提高。
真空泵油作用包括以下幾方面：
第一.主要作為真空傳動潤滑洫。
第二.羅茨真空泵的傳動齒輪和軸承，部分浸入油中，依靠飛濺使傳動部件保持必要的潤滑。
第三.渦輪分子泵油主要潤滑分子泵軸承。
第四.真空密封油專用于油封金屬接觸式真空閥。
第五.作為噴射泵的工作液。
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