機械泵的極限真空度產生的原因及克服
發布時間：2016年09月06日 09:12 閱讀：11409
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澤德
機械泵的極限真空度可以達到10-1 Pa，這取決于以下三個方面的原因。
(1)機械泵的定子空間中兩空腔間的密封性。這是因為兩個空腔中一個為大氣，另一個為極限壓強，密封不好將直接影響到極限壓強。
(2)排氣口附近有一個“死角”空間，在旋片移動時它不可能趨于無限小，因此不能有足夠的壓力去頂開排氣閥門。
(3)泵腔內密封油有一定的蒸汽壓。
由于定子密封性不可能達到完全密封，(2)和(3)屬于客觀因素不易改變，所以機械泵就存在一個極限真空度。通過改進裝置的定子的密封性，改裝裝置盡量減小“死角”空間，對泵腔內的密封油進行處理，減小蒸氣壓等方法，可以提高機械泵的真空度，但無法最終克服。
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