蒸汽流真空泵事利用高速氣流與空氣之間的流體力學相互作用形成負壓而抽氣的裝置，主要有水蒸汽噴射泵、油擴散泵、油擴散噴射泵等類型。
噴射泵是由工作噴嘴和擴壓器及混合室相聯而組成的。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道，氣流通過噴嘴可將壓力能轉變為動能。工作蒸汽壓強和泵的出口壓強之間的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動。
在這個特殊的管道中，蒸汽經過噴嘴的出口到擴壓器人口之間的這個區域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現一個負壓區。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和反壓強只低得多。此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進行能量交換，把工作蒸汽由壓力能轉變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張段某斷面產生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴段流動時是降速增壓的。
油擴散泵、油擴散噴射泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有與水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-2～10-6Pa，廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。
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