在容積式泵類型中旋轉翼真空泵具有代表性。它的工作原理和前面論述的離心泵很相似。這種泵只能用來輸送氣體，其輸出連續、無脈動，它也是過程分析樣品處理系統設備中維護量低的部件。
旋轉翼真空泵可以進一步分為以下三種。
1.干燥泵：典型的干燥(無潤滑)真空泵使用碳翼在鋁或不銹鋼泵殼中旋轉，維護量非常小?？墒桥c油封和水封泵相比，其起初的一次性投資較大。在正常使用時，由于旋轉翼的磨損，會使微細碳粉污染氣相樣品。
2.油潤滑泵：油潤滑泵的價位是這里討論的三個真空泵中一次性投資價位處于中間的泵。但到目前為止，它的維護量最大。油潤滑真空泵有幾個使用限制：產生真空的油脂會污染樣品氣、真空油脂日常更換無規律、廢水有被排出的危險，這都取決于和它相接觸的樣品。泵工作時，會在其出口處產生油霧，因其體積過大，因此最好能在排人大氣時對油霧進行過濾。由此看來，油潤滑真空泵的維護費用巨大，并且可能產生有害物質，這又是一個需要處理的問題。
3.水潤滑泵：水潤滑(液體密封)真空泵起初的一次性投資最小，所提供的真空度最小，日常維護費用也最低?？墒撬疂櫥婵毡貌荒苡糜趯λ魵饷舾械臉悠贰Ｍ瑫r，由于水被樣品污染且可能有害，所以要考慮有害污水的處理問題。
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